231000, Республика Беларусь, г. Сморгонь, ул. Победы 12, Тел/факс: +375 1592-25555; +375 29 663 26 25

Установка вакуумная специальная модели PVM-5000


Установка вакуумная специальная модели PVM-5000
Установка предназначена для нанесения тонкопленочных  износостойких покрытий  титана (TI), а также его соединений с газами (TIN, TIC) (нитриды, карбонитриды). вакуумно-плазменным способом на металлические листы из нержавеющей стали большой площади.

Установка образца 2009 года, была специально разработана для нанесения покрытий нитрида титана (TiN), на металлические листы общей площадью 8 м. кв., для внешнего и внутреннего архитектурного оформления зданий, кровли куполов и крыш церквей.

В состав установки входит:

            откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой японской фирмы CMS ;

            форвакуумный агрегат в составе:

- АВЗ-20 -2 шт;

- НВР-16Д – 1 шт;

- НВД-600 – 1 шт;

            электрооборудование:

            - стойка управления установкой;

           -  линейный дуговой испаритель – 4,5 метра.

           -  источник питания дуговым испарителем, с автоматической системой непрерывной коммутации дуги.

            - автоматическое устройство  для   режима очистки и осаждения.

            -высокоэнергетический ионный источник.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1

Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па (мм. Рт.ст.)

1,33х10-3 (1х10-5)

2

  Время достижения давления 1,33х10-3   Па, мин

30

3

  Размеры рабочей камеры, мм           диаметр

                                                        высота

1000

5000

4

Количество дуговых испарителей, шт.

1

5

Скорость осаждения покрытия, мкм/час

15-30

6

Микротвердость покрытия, кг/мм2

до 2400

7

Ток дуги, А

130-270

8

Диапазон плавного регулирования опорного напряжения низковольтного источника, В

0-300

9

Максимальный ток подложки при нормальном режиме, А

25

10

Мощность установки, кВт не более

20

11

Площадь, занимаемая установкой, м2

20

12

Масса установки, кг

2200